?早期超純水的需求主要是來自發(fā)電、醫(yī)藥化工、造紙等行業(yè),水質(zhì)要求相對(duì)較低,其制備只要采用離子交換,該方法的主要缺點(diǎn)是化學(xué)藥劑再生,既麻煩又不經(jīng)濟(jì),而且由于強(qiáng)行樹脂對(duì)一般有機(jī)分子除去效果差,出水中TOC含量高,隨著半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展,對(duì)超純水質(zhì)量要求提高,從而大大的推動(dòng)了純水技術(shù)的發(fā)展,到了上個(gè)世紀(jì)末,膜技術(shù)得到了廣泛的應(yīng)用,微濾,超濾,電滲析和反滲透技術(shù)先進(jìn)的水處理技術(shù)得到了飛速的發(fā)展,膜法制備純水取代了傳統(tǒng)的離子交換設(shè)備系統(tǒng),解決了TOC問題,滿足了電子行業(yè)對(duì)純水質(zhì)量的要求取設(shè)備工藝。